WONDERWARE 成功事例之一 ——使用FactorySuiteTM管理半导体设备和服务，ProMOS科技实现了安全、高效率的生产
2005/4/15 16:36:00
WONDERWARE 成功事例之一
使用FactorySuiteTM管理半导体设备和服务，ProMOS科技实现了安全、高效率的生产
台湾HSINCHU报道：ProMSO科技有限公司是Mosel Vitelic 和西门子AG的一家合资公司，该公司成立于1996年，它是生产高密度64M同步动态随机存储器（SDRAM）的一个大厂家。作为一个新兴公司，ProMOS可以利用最新的设备和技术快速成为用于高速高带宽微处理（例如PC机的内存）、高清晰度数字视频会议、多媒体服务器、电子通信系统的存储设备的一个大厂家。
ProMOS的厂址在台北南部Hsinchu高科技工业园，该企业从1995年末开始建造其生产线，于1997年初进行了生产设备的安装。所安装的系统部署了超紫外线步进机和相关的处理设备，用于处理200mm硅晶片和0.25μm的电路。其生产线包括利用CMP平面化、深沟电容器、STI浅沟隔离和钨双纹技术的系统。
在建造生产线的同时，ProMOS设备部人员——包括部门经理Cesar Juang、代理经理Josh Pal和工程师Simon Chen——与系统集成商台湾Fuhbic公司合作开发了一个可用于控制所有生产线的支持设备和监视生产运营安全的控制系统。在进行可行性研究之后，他们选择了由总部位于加州欧文市的Wonderware公司开发的FactorySuiteTM自动化软件的集成模块。这些模块包括用于处理供货系统监控工作的InTouch人机界面软件和用作历史数据、报表、分析和优化工具的IndustrialSQL Server 实时关系型数据库。
支持服务系统用于满足特定目标：
为所有制造设备提供连续的、高质量的电力。
为制造设备稳定供气和供应化学原料。
为废水的处理和控制提供纯净水。
优化HVAC系统，提供1级和100级清洁的机房环境。
监视气体和化学原料的消耗，进行库存管理。
为整个企业的操作员提供报警消息。
监视有害气体和化学原料的运输系统，防止有毒物品泄漏。
监视所有系统，保证消防和员工安全。
“这些管理系统监视所有设施的日常运行，包括电力、纯净水、废水处理、气体、化学原料、以及机房空调设备等等，”Simon Chen解释说， “我们的操作员实时记录和处理重要事件和报警。操作员还使用Wonderware应用来控制空调系统的温度和湿度，以及跟踪和记录化学原料的消耗，进行库存管理。“大多数用理系统监视所有设施的日常运于集成电路制造的处理步骤必须在 洁净的室内环境和稳定的条件下进行，”Chen补充说，“整个制造设施的稳定性在提高生产率中占据着重要作用。例如，稳定的原料供应对于IC制造是非常关键的。另外，任何火灾都可能毁坏生产线，毒气泄漏会威胁员工的人身安全。我们的监控设施管理系统必须对紧急情况迅速作出反应，同时还必须保证能够连续提供数据访问能力。
强大的、灵活的系统
FactorySuite 应用使用32个InTouch节点来监视25000多个标记。我们在整个工厂内使用使用西门子HI接口和欧姆龙主机链路连接了西门子、Modicon、GE和东芝可编程逻辑控制器（PLC）。使用一台SCADA PC专用于数据收集，为中央收集点的IndustrialSQL Server 提供数据。在工厂内，我们采用了4000个标记来提供报表数据。
“为了满足I/O连接的响应速度，网络通信性能是非常关键的。”Cesar Juang说，“Wonderware的FastDDE协议为我们同时提供了所需的速度和性能。这种分布式的报警系统使整个工厂范围内都可使用所有重要的报警信息。我们使用LED显示板为生产线提供实时报警显示，这些报警信息是从IndustrialSQL Server中自动获得的。采用数据库技术，我们可以实时跟踪变化趋势，监视过程中的任何变化。它还为我们提供了历史趋势查询能力，以便跟踪生产过程中的任何异常情况。我们的操作员甚至可以在办公室中产生责任报告，根本不需要到现场去。”
“我们的工程师使用Wonderware的I/O服务器工具箱开发了多种驱动程序，以便与专用设备通信，”台湾Fuhbic公司的经理Tony Hung 解释说，“我们为设备开发了9种不同的第三方驱动程序，例如气体、湿度、和微粒分析仪。如果没有这些连接，整个工厂的管理系统无法平稳地、有效地运营。我们甚至开发了一个特殊的打印机驱动程序，这样可以使用彩色中文字体打印报警消息和产生报表。”
过程可视化和SQL数 据库功能的结合使我们在ProMOS上的投资物超所值，我们对生产线的优化管理在台湾是最先进的。“由于我们对环境系统拥有严密的控制手段，我们已经成为台湾第一家采用.25微米工艺和PC100规范的64MB SDRAM产生厂家，”Che说，“我们显著改善了生产线的供气和供料系统，同时实现了对生产安全的严密监视。我们在有毒气体控制系统中所拥有的能力现在已经应用到化学原料、纯净水、废水和供气系统的管理之中。”
“例如，我们可以使用从Industrial SQL Server获得的历史数据来计算气体和化学原料的消耗，这种能力使我们可以更好地管理我们的库存，”Chen补充说，“采用相同的方式，我们可以更好地监视空气质量，跟踪我们的1级设备室中的空气层流的负压情况—— 某些设备的等级现在已经达到1000级。虽然本地区经常有暴风雨，但我们仍能保证所有的线路不掉电，因为我们可以随时迅速启动12台发电机提供紧急供电。在我们的系统中，我们为电力系统本身分配了5000个监测标记。所有这些系统都由主控制室的一名操作员和生产区的4名技术人员管理。如果InTouch检测到任何报警，它会立即把这种报警信息显示在生产区的LED显示屏上，而IndustrialSQL Server会根据告警条件为技术人员产生适当的消息。每名技术人员还配有一部手机，在响应报警事件时，他们可以与主控室随时联系。
关键及生产力
监视和控制系统的复杂性意味着ProMOS已经达到或超过了该系统的所有生产目标。在大多数情况下，我们可以提前6个月完成生产定额，我们在1998年的生产目标是每月19000块晶片，每200毫米晶片制造400个芯片。我们提前完成了任务。我们的下一个目标是为64MB SDRAM采用0.2微米技术，每月生产26000块晶片。在使用当前的系统首战成功的基础上，ProMOS正在考虑建设256MB DRAM的生产线。
“关键的是我们生产线的工程和支持系统非常好，它可以保证我们能够扩大生产能力以满足下一代产生的要求，”Juang说，“在Mosel-Vitelic和西门子合资的技术能力基础上，我们将领导次微米DRAM技术，使台湾成为世界上最先进的一个DRAM生产基地。”
使用FactorySuiteTM管理半导体设备和服务，ProMOS科技实现了安全、高效率的生产
台湾HSINCHU报道：ProMSO科技有限公司是Mosel Vitelic 和西门子AG的一家合资公司，该公司成立于1996年，它是生产高密度64M同步动态随机存储器（SDRAM）的一个大厂家。作为一个新兴公司，ProMOS可以利用最新的设备和技术快速成为用于高速高带宽微处理（例如PC机的内存）、高清晰度数字视频会议、多媒体服务器、电子通信系统的存储设备的一个大厂家。
ProMOS的厂址在台北南部Hsinchu高科技工业园，该企业从1995年末开始建造其生产线，于1997年初进行了生产设备的安装。所安装的系统部署了超紫外线步进机和相关的处理设备，用于处理200mm硅晶片和0.25μm的电路。其生产线包括利用CMP平面化、深沟电容器、STI浅沟隔离和钨双纹技术的系统。
在建造生产线的同时，ProMOS设备部人员——包括部门经理Cesar Juang、代理经理Josh Pal和工程师Simon Chen——与系统集成商台湾Fuhbic公司合作开发了一个可用于控制所有生产线的支持设备和监视生产运营安全的控制系统。在进行可行性研究之后，他们选择了由总部位于加州欧文市的Wonderware公司开发的FactorySuiteTM自动化软件的集成模块。这些模块包括用于处理供货系统监控工作的InTouch人机界面软件和用作历史数据、报表、分析和优化工具的IndustrialSQL Server 实时关系型数据库。
支持服务系统用于满足特定目标：
为所有制造设备提供连续的、高质量的电力。
为制造设备稳定供气和供应化学原料。
为废水的处理和控制提供纯净水。
优化HVAC系统，提供1级和100级清洁的机房环境。
监视气体和化学原料的消耗，进行库存管理。
为整个企业的操作员提供报警消息。
监视有害气体和化学原料的运输系统，防止有毒物品泄漏。
监视所有系统，保证消防和员工安全。
“这些管理系统监视所有设施的日常运行，包括电力、纯净水、废水处理、气体、化学原料、以及机房空调设备等等，”Simon Chen解释说， “我们的操作员实时记录和处理重要事件和报警。操作员还使用Wonderware应用来控制空调系统的温度和湿度，以及跟踪和记录化学原料的消耗，进行库存管理。“大多数用理系统监视所有设施的日常运于集成电路制造的处理步骤必须在 洁净的室内环境和稳定的条件下进行，”Chen补充说，“整个制造设施的稳定性在提高生产率中占据着重要作用。例如，稳定的原料供应对于IC制造是非常关键的。另外，任何火灾都可能毁坏生产线，毒气泄漏会威胁员工的人身安全。我们的监控设施管理系统必须对紧急情况迅速作出反应，同时还必须保证能够连续提供数据访问能力。
强大的、灵活的系统
FactorySuite 应用使用32个InTouch节点来监视25000多个标记。我们在整个工厂内使用使用西门子HI接口和欧姆龙主机链路连接了西门子、Modicon、GE和东芝可编程逻辑控制器（PLC）。使用一台SCADA PC专用于数据收集，为中央收集点的IndustrialSQL Server 提供数据。在工厂内，我们采用了4000个标记来提供报表数据。
“为了满足I/O连接的响应速度，网络通信性能是非常关键的。”Cesar Juang说，“Wonderware的FastDDE协议为我们同时提供了所需的速度和性能。这种分布式的报警系统使整个工厂范围内都可使用所有重要的报警信息。我们使用LED显示板为生产线提供实时报警显示，这些报警信息是从IndustrialSQL Server中自动获得的。采用数据库技术，我们可以实时跟踪变化趋势，监视过程中的任何变化。它还为我们提供了历史趋势查询能力，以便跟踪生产过程中的任何异常情况。我们的操作员甚至可以在办公室中产生责任报告，根本不需要到现场去。”
“我们的工程师使用Wonderware的I/O服务器工具箱开发了多种驱动程序，以便与专用设备通信，”台湾Fuhbic公司的经理Tony Hung 解释说，“我们为设备开发了9种不同的第三方驱动程序，例如气体、湿度、和微粒分析仪。如果没有这些连接，整个工厂的管理系统无法平稳地、有效地运营。我们甚至开发了一个特殊的打印机驱动程序，这样可以使用彩色中文字体打印报警消息和产生报表。”
过程可视化和SQL数 据库功能的结合使我们在ProMOS上的投资物超所值，我们对生产线的优化管理在台湾是最先进的。“由于我们对环境系统拥有严密的控制手段，我们已经成为台湾第一家采用.25微米工艺和PC100规范的64MB SDRAM产生厂家，”Che说，“我们显著改善了生产线的供气和供料系统，同时实现了对生产安全的严密监视。我们在有毒气体控制系统中所拥有的能力现在已经应用到化学原料、纯净水、废水和供气系统的管理之中。”
“例如，我们可以使用从Industrial SQL Server获得的历史数据来计算气体和化学原料的消耗，这种能力使我们可以更好地管理我们的库存，”Chen补充说，“采用相同的方式，我们可以更好地监视空气质量，跟踪我们的1级设备室中的空气层流的负压情况—— 某些设备的等级现在已经达到1000级。虽然本地区经常有暴风雨，但我们仍能保证所有的线路不掉电，因为我们可以随时迅速启动12台发电机提供紧急供电。在我们的系统中，我们为电力系统本身分配了5000个监测标记。所有这些系统都由主控制室的一名操作员和生产区的4名技术人员管理。如果InTouch检测到任何报警，它会立即把这种报警信息显示在生产区的LED显示屏上，而IndustrialSQL Server会根据告警条件为技术人员产生适当的消息。每名技术人员还配有一部手机，在响应报警事件时，他们可以与主控室随时联系。
关键及生产力
监视和控制系统的复杂性意味着ProMOS已经达到或超过了该系统的所有生产目标。在大多数情况下，我们可以提前6个月完成生产定额，我们在1998年的生产目标是每月19000块晶片，每200毫米晶片制造400个芯片。我们提前完成了任务。我们的下一个目标是为64MB SDRAM采用0.2微米技术，每月生产26000块晶片。在使用当前的系统首战成功的基础上，ProMOS正在考虑建设256MB DRAM的生产线。
“关键的是我们生产线的工程和支持系统非常好，它可以保证我们能够扩大生产能力以满足下一代产生的要求，”Juang说，“在Mosel-Vitelic和西门子合资的技术能力基础上，我们将领导次微米DRAM技术，使台湾成为世界上最先进的一个DRAM生产基地。”
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