全自动划片机的高速高精度运动定位及控制技术

从国际划片机发展过程来看，从Ф150mm到Ф200mm，精度仅提高1μm，但这是在行程增大的条件下提高的，对导轨、丝杠等机械部件的精度及变形要求极严，要确保划切精度和芯片安全，决不允许有误差积累，因此，只能选择闭环控制。要在不影响或尽量小地影响效率的前提下实现闭环控制，必须采用高速高精度定位及其控制系统。高效能、快速响应驱动系统Ф200mm硅片尺寸大、密度高、划切刀痕小，因此，它对各方向动态响应和静态稳定性都有极高的要求，而各方向运行的速度曲线也比较特殊。在做图像对准时，各运动方向的动态响应、运动速度和精度都直接影响到自动对准的准确性、对准效率和硅片的对准通过率。 全自动划片机一般由主机部分、自动对准、自动上下片和自动清洗4个单元组成，其核心部分是主机。HP-821精密自动划片机是作为全自动划片机的主机部分进行研制的，已具有双轴划切和自动对准功能，并留有其他配套部分的软硬件接口，具备良好的可扩展性。该机的研制成功，在为生产线提供一种Ф200mm自动划片机的同时，为Ф200mm全自动划片机的整机研制奠定了基础。 分子束外延 分子束外延技术(L-MBE)是近年来发展的一种先进的薄膜生长技术, 在氧化锌薄膜生长的研究中因其独特的优越性显示出越来越强的竞争力.在讨论ZnO薄膜基本特性的基础上, 较为详细地论述了激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用和取得的新进展. 成像系统 PHOTO-CHROM是全新的薄层成像系统，无需电脑即可打印输出。图象可以储存在软盘中（3张TIFF或BMP图片，或30张JPEG图片），再转移到电脑中。系统带PHOTO-CHIROMRF分析软件，可以和PC机整合 气体过滤器 气体过滤器系高压级,使用于空气,氮气等介质.用于滤去气体中固体颗粒.具有重量轻,易于安装,通气流量大等特点. 液体过滤器 一种液体过滤器装置，包括一具有入口、出口的筒体，于该出口处设有盖体，该筒体中设有至少两组磁铁单元，该磁铁单元由多个磁铁组合而成，且相邻之磁铁单元相对面具有相同磁极性，于该筒体中磁铁单元后装置有过滤单元，该过滤单元由可透析液体之滤网片设成筒状。本实用新型亦可过滤液体中之铁质异物并使液体中之水软化。 　 油过滤器 油液污染是系统故障的最主要原因，它会降低系统性能、缩短零部件寿命、增加换油次数和延长停机时间，给系统正常运行带来极大的负面影响。油过滤器用来对油液进行合理有效过滤与净化来控制油液污染。 扩散片 LCD 光扩散片 75PBA, 100PBU, 100S, 100SXE, 100MXE, 100LSE, 100GM2, 100TL2, 100TL4, 125TD3 LCD 光反射片 RW125, RW188, GR38W, RW75CB, RWX3T LED 光扩散片 MTN-R1, MTN-G2 MTN-W1, MTN-W2 MTN-W4, MTN-W5 MTN-WX5, MTN-W7, MTN-W8 D101, D105, D202 D204, D206, D207