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一体化结构三维加速度传感器的设计

--一体化结构三维加速度传感器的设计

供稿:中国工控网 2012/3/26 14:58:49

0 人气:5011

  • 关键词: 三维加速度计 有限元法 翦切应变
  • 摘要:设计了一种基于单惯性质量块的一体化结构三维加速度传感器。采用一种特殊结构的弹性体元件,实现了三维加速度量都利用剪切应变测量。利用有限元工具对传感器静态和动态特性进行了分析,给出了弹性体的应变分布、固有频率等。有限元分析计算和实验结果表明:所设计的传感器在3个正交方向上都有较高的灵敏度,各加速度分量互相干扰小。其交差灵敏度小于6.5%,非线性误差小于2%,固有频率大于1700Hz。

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