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优纳科技(UNIC-Tech)产品在晶圆缺口检测中的典型应用

优纳科技(UNIC-Tech)产品在晶圆缺口检测中的典型应用

2007/10/19 11:37:00
检测项目:晶圆边缘的点缺口或线缺口
点缺口(Dot Notch)线缺口(Flat Notch) 检测任务:通过视觉检测,将晶圆(wafer)精确定位,为下一步工序做好准备 原理说明 检测定位是指找到被测物体或物测物体某一特征区域并确定其位置,输出位置坐标,绝大多数的视觉系统都必须完成这个工作;当被测物体的坐标被准确定位之后,常常需要根据前一步确定的位置来完成下一个动作(比如机器手进行抓取、激光进行切割和焊接头进行焊接等)。这是视觉行业里被最密集使用的技术,定位的精度、速度和重复度就是各个视觉系统的关键指标,北京优纳科技有限公司自主研发的PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统在以上方面具有明显的技术优势,成功实现了自动分辨点缺口与面缺口,及高速高精确检测与定位。 系统组成 PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统主体包括PHOCUS系列智能相机(130万-300万象素可选)、iNotch缺口检测软件、及系统标配的LED环形光源和电源,全部由优纳科技自主研发生产。易于集成和安装,利用Etherne网络进行通讯。通过网络,用户可以方便进行数据访问和工业过程监控,并实现了更好的晶圆跟踪。所有地点能够远程信息共享。PHOCUS-iNotch还提供RS-232串口通讯,满足没有Etherne网络的工厂设备使用的需要。PHOCUS-iNotch能够方便与工厂设备进行系统集成,并很容易根据现有设备的需要进行安装和升级。
系统优势 缺口Notch通常不超过2mm,这要求检测设备的图像采集清晰度非常高;在半导体生产现场,对缺口检测的速度要求很高;同时,受到光源、电源等电磁信号干扰的影响,消除和避免噪音也成为提高检测精度的必要手段。 晶圆缺口检测系统PHOCUS-iNotch采用图像识别技术进行实时检测、定位和分析,有效地避免了上述的种种问题,使得生产精度,稳定性及效率得到极大的提高。其硬件部分采用PHOCUS-1810高速130万象素智能相机,保证了高质量图像的采集;检测定位部分应用优纳科技自主研发的iNotch视觉软件包,其定位精度高,速度快,一次识别时间在100ms以内;结合优纳最新研发的LED环形光源和电源,最大限度地降低了现场噪音对图像的影响。PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统可自动分辨点缺口和线缺口,最高精度可达0.1个象素,性能达到世界领先水平。 软件界面 系统自动测量并标注圆心、点缺口位置坐标; 自动生成圆心—缺口连线; 测量圆心-缺口距离
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