伊玛电容传感器在半导体设备液位检测

伊玛 扁平式CD电容传感器应用于半导体设备

应用描述

　　上海松江某半导体设备制造厂原先使用浮子开关，但是却无法及时反应液位内高低，且维修上如需要停机则还要防止液体从管孔流出。

实际案例中, 也有客户采用光电开关来做桶槽液位的检测, 但是随着一段时间, 桶槽内会堆积灰尘, 累积到一定程度之后, 就会对光电开关侦测的准确性造成影响。

安装位置

常见的安装数量一台半导体设备会安装2或4个, UP上料位和DOWN下料位, 有的工程师会再多安装UP/UP上料位和DW/DW下料位的预备, 避免前一个传感器的异常现象发生。

解决方案

　　建议选用伊玛的一触式电容式接近传感器CD0001/CD0002，安装于半导体清洗生产线，替代客户先前使用的浮子，因为不直接接触溶液，可以穿透塑料的桶槽或是非金属的外接管, 维护起来更加方便稳定！

　　此款CD型智能型电容式接近传感器，具备技术领先的”One-Touch”一触式学习功能，摆脱传统的方法转旋钮调整，设定者只要轻轻一触则可完成自动学习和远程设定。感应距离高达到15mm，透过扁平式的结构节省空间且可轻易的安装，并增强抗电磁干扰。透过全密封设计，可长时间工作于恶劣环境，性能稳定。具有穿透管壁的功能，无需将管道穿孔，即可轻松的安装在管上，安装相当容易。优点如下：可靠性高、具抗干扰能力，可满足感应速度要求，由于无需穿孔且可轻易的绑在管道上，使用和维护都相当方便，非常适合半导体的使用环境，成本相对来说比较低。