直线电机驱动高性能工作台运动控制系统的建模及仿真

• 关键词： 运动控制 动态建模 计算机仿真 工作台
• 摘要：高速、高加速、高精度的XY 工作台的运动系统具有高阶次、多变量、时变性、非线性、强耦合等特 点，其建模过程十分复杂，本文分析了一种直线电机驱动的高性能工作台运动控制系统的运动特点，将工 作台动态分为主运动和多个附加振动，基于动力学原理，建立了全面反映系统动态特性的数学模型，在 Matlab/Simulink 环境下进行计算仿真，仿真结果与实验测试结果的比较表明，所建模型在较宽的频率范 围内反映了工作台运动系统的动态特点，可以较好地分析和解释工作台运动频率特性的多种现象。

直线电机驱动高性能工作台运动控制系统的建模及仿真