谐振式MEMS温度传感器设计_温度传感器_

谐振式MEMS温度传感器设计

2011/6/14 20:50:00

温度是科研生产和生活中非常重要的一个参数材料的各种性能几乎都与温度有关因此温度传感器是一种应用广泛的传感器温度的精确测量是生产科研中一项非常重要的任务温度的传统测量方法采用的是铂电阻热敏电阻热电偶以及硅基集成的温度传感器铂电阻是最常用的电阻式温度传感器它虽具有良好的线性度重复性稳定性和宽的温度范围但是不便于集成制造而诸如镍锰的硫化物硒化物等半导体化合物材料的电阻器的温度非线性都很高并且与集成电路ＩＣ工艺不兼容采用热电偶测温则需要提供一个恒定的参考温度环境参考温度点。