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一种硅压力传感器的高精度宽温度补偿设计

一种硅压力传感器的高精度宽温度补偿设计

2011/7/8 19:57:00
硅压力传感器使用半导体硅作为芯片材质,有半导体材料共同的温度敏感性。如果不考虑温度补偿修正,
很难在宽的环境温度下保证测量精度。现有的宽温度补偿的压力传感器精度往往较低。
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