温度对微机械全方位姿态传感器灵敏度的影响
2011/7/16 9:58:00
以往研究的气流式单轴水平姿态传感器仅局限于敏感处于水平面内的物体绕一特定水平轴的倾斜角度,且该传感器是结构型的[ 1], 体积大, 不能用于头盔、 摄像机等领域。本文利用 气体摆!理论和近年来飞速发展的微机械加工技术设计了一种新型传感器 微机械气流式全方位水平姿态传感器
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