温度对微机械全方位姿态传感器灵敏度的影响

• 关键词： 环境温度; 全方位; 灵敏度;
• 摘要：解释了环境温度对微机械气流式全方位水平姿态传感器灵敏度的影响机理。采用有限元方法,通过建立该传感器敏感元件的三维模型计算了不同环境温度下,倾斜10°时敏感元件内的温度场。结果表明,在热源温度一定的情况下,输入恒定倾角时,敏感元件内的温度场随环境温度发生了变化;随着环境温度的增加(下降),敏感元件内两两相对的检测热敏电阻处的温度之差减小(增加),检测电桥输出电压减小(增加),传感器灵敏度降低(升高)。为进一步采取温度补偿,减小该传感器灵敏度的温度漂移提供了理论和实验依据。

以往研究的气流式单轴水平姿态传感器仅局限于敏感处于水平面内的物体绕一特定水平轴的倾斜角度,且该传感器是结构型的[ 1], 体积大, 不能用于头盔、 摄像机等领域。本文利用  气体摆!理论和近年来飞速发展的微机械加工技术设计了一种新型传感器 微机械气流式全方位水平姿态传感器