泛华恒兴质量流量传感器校准系统_泛华恒兴_质量流量传感器

泛华恒兴质量流量传感器校准系统

2011/12/26 14:06:06

a)产品概述

质量流量传感器校准系统作为质量流量传感器生产线终检校准设备，用于小量程质量流量传感器的通讯功能测试以及不同温度下的校准，以保证产品质量及精度。

b)应用专利技术

本系统中以下技术正在申请实用新型或发明专利：

《批量传感器固定可识别装置》
《无绕线针床夹具》
《高密封阀组》
《一种多气路连接器装置》

c)系统功能

主要功能	描述
用户管理	管理用户登录及操作权限，按权限高低分为管理员、工程师、技术员、线长和操作员，管理员具有最高权限，可以添加、删除和修改用户信息；
工单操作	用于创建不同温度下的工单任务，只有当前存在的工单被终止或完成时，才能创建下一个工单；
参数配置	用于工程师对校准或测试参数进行配置；
模式选择	提供生产模式、工程师模式以及校验模式共三种工作模式；
错误日志浏览	为用户提供按时间查询的错误日志浏览；
数据存储	自动存储测试过程数据。

d)特性详解

兼容多种信号输出类型的传感器——

温度可控范围宽，稳定性优异—— 可实现-20℃~100℃范围内不同温度点的精确控制，温度控制精度为 1℃，目标温度下的温度波动度为 0.2℃；

良好的气路密封性——采用钢质气管，采用少接头设计，确保系统密封性。图示是使用同一传感器夹具进行5次（用不同颜色的曲线代表）泄漏测试时的泄漏率。（单位为sccm/s，测试压力为2.5psi，保压时间 20s，每个传感器夹具包含4条气路）

质量流量传感器校准系统

高测试校准精度——气体流量控制精度达 1sccm，温度控制精度 1℃。

高测试效率——系统可同时对32个被测件进行操作，8路总线并行的设计方法和温度的快速稳定为Cycle Time节约了大量时间，达到160 DUTs/h，满足生产线节拍的要求。

测试校准稳定可靠——GRR实验数据良好。图示为校准200sccm量程的传感器时不同流量点下（50/100/160/200sccm）的GRR数据，均<10%。

质量流量传感器校准系统

便于维护——设计了专门的探针模块用于从传感获信号点获取信号，损坏时更该模块即可；气路装拆方便；继电器状态通过指示灯显示，指示直观。

完善的安全机制——智能流程判断；提供急停等安全操作机制，在系统出现突发状况时对人及设备形成保护。

e)运行环境及系统指标

项目	描述
系统指标
流量范围	0~1000sccm/0~200sccm可选
节拍	160件/小时，32件并行测试
物理尺寸 (W D H)	温控箱外形尺寸：2300 1430 1960mm
	热流机外形尺寸： 610 991 1303mm(Max.) （热流机与温控箱距离不超过2m）
运行环境
运行环境	温度：0~50℃；湿度：35%~80%；
供电要求	AC 220V，50Hz	校准平台、热流机供电
	AC 380V，50Hz	温控箱供电
供气要求	2.0bar	校准供气，干燥、纯净的氮气
	5.0bar	气缸供气，干燥的压缩空气
	90~100psi	热流机供气，干燥的压缩空气