平面电动机设计、控制与应用技术综述

      与其他类型电动机一样，平面电动机（Planar Motor）由定子、动子和支承等部分组成。在支承的限制和电磁推力的作用下，平面电动机的动子能够带动负载产生两维的直线运动。若按照电动机动子输出运动的维数将电动机划分为一维电动机、二维电动机和三维电动机等，则平面电动机属于二维电动机的一种（另外一种二维电动机称为螺旋电动机[1]）。
      由于平面电动机在二维平面定位装置（Positioning Device）特别是精密二维平面定位装置中具有广阔的应用前景，平面电动机受到了学术界和工业界的广泛关注。近十几年来，在权威期刊和国际会议上，不时有与平面电动机相关的文章出现[2]。有些知名大学（如麻省理工学院）在平面电动机技术方面已经进行了卓有成效的研究[9]。目前，国际上已经有许多涉及平面电动机及其应用的专利公布，其中日本NIKON公司的美国专利就有十几项[12]。此外，某些驱动系统公司还推出了相关的平面电动机产品。
      本文讨论平面电动机的应用特点，分析平面电动机设计、控制、应用技术的研究现状，针对目前平面电动机技术存在的不足，探讨了平面电动机技术的发展趋势。