- 关键词： 线切割、运动控制
- 摘要：张力可控的细钢丝快速运动分配研磨液实现晶锭切割，根 据切割工艺钢丝可以单向或往复切割，该方式速度快，晶锭 损失小。
线切割设备
一台主伺服带动罗拉旋转切割硅块，贰个伺服
用于控制收放线，贰个伺服用于切割线张力控
制，张力控制采用力矩方式的伺服马达，编码
器分频反馈力矩偏差，伺服方式力矩恒定不受
力臂影响，张力大小可以反应速度高、摆幅
小、线速度更快。
用于控制收放线，贰个伺服用于切割线张力控
制，张力控制采用力矩方式的伺服马达，编码
器分频反馈力矩偏差，伺服方式力矩恒定不受
力臂影响，张力大小可以反应速度高、摆幅
小、线速度更快。
解决方案
一个伺服用于收线端排线（单排线机型），一个伺
服用于硅块进给，另外有包括温度控制在内的辅
助控制。
服用于硅块进给，另外有包括温度控制在内的辅
助控制。
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