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主控IPC及过程控制IOs整套设备应用于国产首台大型MOCVD-ProMaxy外延设备

主控IPC及过程控制IOs整套设备应用于国产首台大型MOCVD-ProMaxy外延设备

    ProMaxy MOCVD外延设备:国产首台具有世界先进水平的大型MOCVD设备。主控IPC,过程控制I/Os,安全的Safety的控制及运动控制部分,整套设备均选自Beckhoff。

    作为LED芯片生产过程中的关键设备-MOCVD,其核心技术长期被欧美企业垄断,中晟光电设备(上海)有限公司凝心聚力,攻坚克难,顺利实现了大型MOCVD外延设备研发,生产国产化,并于2012年12月12日向客户成功发运国产首台大型MOCVD-ProMaxy外延设备,充分体现了中国企业在高端装备领域的生产能力和创新水平,为实现大型MOCVD设备国产化,迈出了具有里程碑的关键一步。

    中晟光电设备(上海)有限公司坐落于上海浦东张江高科技园区,是由一批国内外业界精英,技术专家和管理团队组成的高端研发,生产,销售及服务的高科技绿色新能源企业。公司旨在建立以中国为基地,实现LED关键设备生产及技术和工艺国产化,倾力打造具有世界领先地位的新型装备制造企业。中晟公司仅用了10个月的时间,就完成了大型MOCVD高端装备技术工艺的开发和整套设备的优化生产,并于2012年12月12向客户发运首台中国具有世界先进水平的大型国产MOCVD-ProMaxy外延设备,受到业界高度赞扬。

四项核心竞争力

    中晟公司MOCVD-ProMaxy外延设备各项性能均达到或超过标准指标,其中蓝光片波长均匀性<1.5nm,炉内片间均匀性<2.5nm,炉间波长重复均匀性<2nm;非掺氮化镓的迁移率607cm�/Vs,均达到国际领先水平。该设备的高产能(单腔产能2英寸66片,系统产能可达264片),高良品率(至少可提高10%),完整可靠的外延生产性能及较低的外延成产成本,使其具有较强的市场竞争力,尤其重要的是该大型高端装备的核心技术和自主知识产权均为国内首创。

与倍福协同合作追求更高目标

    中晟公司孙总提到项目初期选择与倍福合作的原因时说到:” 倍福全线控制产品从控制器IPC到驱动器电机,到EtherCAT总线端子模块和安全模块,不仅技术指标能保证系统在逻辑控制,过程控制,安全控制及运动控制中稳定的功能,它的兼容性及安全性和价格,及倍福上海技术工程师技术能力的优势,都让他们更倾向于使用Beckhoff控制系统”。

    由于MOCVD的工艺对流量和温度控制精准,组分变换迅速及系统紧凑都有很高的要求,ProMaxy系统选用 Beckhoff C5102系列抽屉式工控机,通过EtherCAT总线通讯方式实现每个腔300多个分布式数字量和模拟量信号的高速采集和实时控制。以温度控制为例:应用中的EL3164和EL4104-EtherACT模拟量端子模块 – 其16位控制精度和测量区域内误差小于0.3%的特点,在生产中ProMaxy主加热区的温度误差保证在0.5摄氏度左右,实现加热区区间均匀性在1摄氏度范围。系统中集成的 倍福的SafetyOverEtherCAT安全逻辑单元EL6900和安全输入/出模块EL1904和EL2904(均为SIL3标准),更实现了近120个分布式安全信号点,200多个安全逻辑的控制,保证系统高速运行的同时,各个复杂加工环节的安全性。在运动控制方面,选用 Beckhoff EtherCAT伺服驱动器AX5203,实现双轴同步精度0.01。

    中晟资深电气工程师万工在谈到使用 倍福系统的感受也说到:“Beckhoff控制系统使用起来更简单,再复杂的系统都可以用软件TwinCAT来进行配置和编程,避免设备和软件之间的不兼容性造成的工程师的调试难度,为设备从生产到调试及到最后客户验收和认可,赢得了更多的时间。另外系统软件提供的丰富的接口支持,如为高级语言提供的类库等也是一个很大的优势。”灵活的接口让 倍福的系统更具有集成性,第三方的硬件设备,不论是串口RS232/RS485仪表设备还是其它通用总线通讯控制设备(ProbiBus,CANOPen,DeviceNet等)均可以轻松集成到TwinCAT系统中,TwinCAT均提供统一的配置和编程的平台。 对第三方软件接口,例如:Visiual Studio,JAVA,LabVIEW等,TwinCAT均提供丰富的软件类库和接口库让高级语言用户也可以轻松和TwinCAT进行数据交互。

    最后彭总补充道:“ 倍福的产品在比较其他控制系统设备提供商,除了功能和精度上满足要求外,更让他们满意的还是 倍福有更好的全方位的客户支持和完整的解决方案,给我们留下了很好的印象。”现在倍福中国拥有销售和技术支持/售后/应用工程师超过100名,立志尽可能满足各地区客户产品咨询,技术支持和售后及产品应用要求,追求能更高效并及时的对客户问题进行反映和处理。

    继大型MOCVD外延设备投放市场之后,中晟公司更加奋力拼搏,勇攀高峰,不断进行设计创新,工艺创新,调结构,上产品。我们相信中晟公司,将会有更多更好的高端装备产品提供给市场,提供给客户,继续在中国LED绿色环保产业行业中争做排头兵。孙总和彭总还表示:在新一代设备的控制系统中将继续使用 倍福的整套控制设备,与倍福公司更加紧密的合作,为市场为客户提供更多更新的装备产品,促进中国LED绿色环保产业做大做强。

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