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压阻式压力传感器简介 压阻式压力传感器工作原理、特点介绍

供稿:中国工控网 2016/10/11 13:30:00

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  压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应而构成,又称扩散硅压力传感器。压阻式传感器广泛地应用航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。

  压阻式压力传感器采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。

  当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。

  压阻式压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单、便于实现显示数字化等特点,而且可以测量压力,稍加改变,还可以测量差压、高度、速度、加速度等参数。

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