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行业聚焦 : 于半导体行业清洁实验室中大展拳脚

行业聚焦 : 于半导体行业清洁实验室中大展拳脚

PMD技术公司今年搬入了SUMMIT的新办公楼,实验室的清洁间需要继续提升运行效率。为此,各种各样的易福门传感器购置到位,协助公司为3D视觉和测距传感器的研发和测试提供最新的技术标准。

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易福门传感器安装于清洁实验室的中央控制单元

其中气体压力传感器PQ3834(针对压缩气体)和PQ3809(针对真空),用于实现压力信号的实时在线变化测量和监控。

ACCRETECH(原TSK,东京精密株式会社Tokyo Seimitsu )是半导体加工和精密测量仪器设备的全球著名制造商。该公司生产世界顶级半导体的探针床,其功能是对晶圆上形成的所有芯片进行电气特性自动化测试,使用这台设备可以对芯片的合格品与不良品进行筛选。另外,在ESMO(宜世摩)自动抓取和放置晶圆的机械手运行中也有气动系统。这两台设备都需要压力监控。

此外,压缩空气流量计SD6050用于评估在系统运行时段内的空气总消耗量和泄漏情况,从而实现监控压缩空气系统以及真空泵的性能。

IO-Link助力人机界面监控

通过AL1940 最新的IO-Link 控制模块和具有尖端技术的netPi控制器,数据能够清晰明了的通过Y-path和节点传输到电脑端界面,配合Node-RED,以网页浏览的方式展示不同的情况或者给出报警、非正常信号。该信号能够以各种渠道发出,例如email。另外,在控制器内的netPI可以实现数据采集,如采集带有时间节点的累积消耗流量,以CSV的格式发送到FTP服务器。

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数据采集视图

Node-RED是基于数据流驱动的编程理念,它能够方便的实现更加美观、清晰的视觉显示效果和编程(通过JavaScript),从而为没有编程基础的非专业工程人员在合理时间内实现复杂IoT应用提供了可能性。

以上图片显示的架构和综合参数给我们展示了一个系统集成解决方案的典型案例。这是一个在易福门SUMMIT办公楼里已经实现、正在运行以及基于工业4.0的数字智能传感器提升运营效率的鲜活例子。

审核编辑(
王静
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