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半导体精密研磨抛光机传感器选型推荐应用案例

半导体精密研磨抛光机传感器选型推荐应用案例

9.8 半导体精密研磨抛光机传感器选型推荐应用案例 _副本.png

1、检测晶片有无

1.1.png

产品方案:FF-403+FFRS-310

1.2.png

2、晶片安放在研磨槽里面检测到位

2.1.png

产品方案:FF-403+FFRS-310

2.2.png

3、晶片研磨后进行清洗过程

3.1.png

产品方案:FF-403+ FFR-38M

3.2.png

4、研磨清洗后成品晶片检测

4.1.png

产品方案:FF-403+FFRC-310

4.2.png

5、检测气缸磁性开关是否到位

产品方案:FD-07R

6、压力开关控制整台设备气压

产品方案:FKP70BP-010-F3

7、导轨电源

产品方案:FP300D- 24MDA 

8、固态继电器20A,40A直流控制交流

产品方案:WLHJP-22 25A或WLHJP-22 40A 

审核编辑(
王静
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