海德汉革命性的二维光栅尺-1Dplus光栅尺
如果光栅尺能够测量一个新的维度，那将变得非常新奇。海德汉公司现在就推出了一款1Dplus光栅尺。经过多次研发后，海德汉公司设计出了一款独特的创新型二维光栅尺，它可以测量某个工作台或设备运动时的线性导向误差及温漂误差，因而可以对这些误差进行快速处理和补偿。这就使系统在初次测量时就能精确地完成任务。
目前1Dplus光栅尺最可能的应用领域包括平面工作台、龙门运动结构、晶圆设备以及大型纯平显示器的生产和测试，希望提升任何运动平台性能的用户都将从中受益。
这些具有真正革命意义的1Dplus编码器无摩擦，并在两个维度上都有光栅，配有两个或三个扫描部件，可在X和Y方向上进行同时测量。三个扫描部件可计算支撑扫描部件支架的旋转角度。这些正交编码器光栅可以对新维度进行精确地测量，它们既测量左右方向（X轴）的运动，也测量上下方向（Y轴）的运动（通过控制进行补偿）。海德汉早期和当前使用的1Dplus编码器分别是干涉型线性光栅和LIF400 1Dplus（见图）。测量标准是热膨胀系数为0ppm/K的DIADUR。当前测量长度为300×2mm，今后计划大幅度提高此值。1Dplus本身规格为20×4.9mm。
1Dplus的X轴测量精度等级为±1 μm，包括一个参考标记。光栅周期为8 μm；信号周期为4μm。
发布时间：2010年10月8日 11:58 人气：
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