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该ALD镀膜设备由4个炉管、龙门上下料结构、冷却与缓存料架组成，龙门上下料负责将石英轴放入ALD炉管中，在ALD炉管内通过特定的

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欧姆龙研发的伺服压力技术，能够在不降低装置速度的情况下，依然确保压力贴合目标值，降低不良品率，提升生产节拍。

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CK3M通过独特交叉解耦控制,保证龙门架在运行中的绝对同步,同时专为龙门设计的回零方式,保证回零后龙门架的水平.

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