吉时利（Keithley）与Novellus共同开发自动诊断测试

美国俄亥俄州克里夫兰市及加利福尼亚州San Jose市2003年4月2日报导——吉时利仪器公司（纽约股票代码为：KEI）, 作为无线通讯集成电路电参数测试系统的领导者，同Novellus系统公司（纳斯达克股票代码为：NVLS）, 作为国际半导体工业先进的沉积，表面处理, 化学机械平整（CMP）工艺等设备的生产与技术革新领导者, 今天宣布他们将在位于San Jose的Novellus客户集成中心开始合作。合作的主要目标是：基于吉时利先进的S600半导体直流参数测试平台来开发适于铜及低K材料的电气工艺诊断测试。这种测试将会大大节省铜工艺开发的时间并有利于提高Novellus及吉时利客户的生产率。 铜及低K材料具有高速及低功耗的特点，无线通讯行业正快速与基于这种工艺的半导体技术相结合。这种趋势对于行业发展非常关键, 将使半导体器件体积越来越小，功耗却越来越大，。 “设计规则的变化已不能完全遵照按比例来改变性能。因此，新材料正被加速引荐到这个行业中来满足对性能及功耗提升的要求。”吉时利总经理Mark Hoersten表示：“在半导体量产的工艺开发，工艺集成及控制过程中采用新的铜及低K材料，这一举措意味着行业将面临巨大的新的挑战。我们同Novellus的合作，会因为Novellus在新材料方面的专长，而加强吉时利电特性测量方面的领先能力，更好地为全球无线通信集成电路客户服务。” “选择了吉时利的领先电性能测试技术，Novellus将提高铜及低K材料内部结构电特性的全面分析能力。”Novellus工艺集成及应用副总裁Bob Havemann说，“这样，我们能够开发更坚固耐用的设备，用于加工和获取很重要的信息，帮助我们的客户，在他们特定的工艺流程中引进这些工艺设备，最终达到提高生产率的目标。” 关于吉时利仪器公司：美国吉时利仪器公司为无线通讯、半导体、光电和其他电子工业提供光和电信号的测试方案。全球的许多工程师和科学家都使用吉时利仪器公司先进的软硬件产品，用于过程监控、产品测试和基础研究等各个领域。 关于Novellus系统公司：Novellus系统公司是S&P 500企业, 生产与服务于半导体工业先进的沉积, 表面处理, 化学机械平整（CMP）工艺等设备, 以最低成本批量生产先进的，领导行业潮流的半导体设备。总部位于加利福尼亚州的San Jose，在美国各州均有分部。在英国、法国、德国、荷兰、爱尔兰、以色列、意大利、印度、中国、日本、韩国、马来西亚、新加坡及台湾地区设有办事处。Novellus在纳斯达克股票交易所上市（代码为：NVLS），是纳斯达克100指数的组成部分之一。其它信息请参考Novellus主页：www.novellus.com