扩散硅传感器的工作原理_扩散硅式_压力变送器

扩散硅传感器的工作原理

2012/8/28 17:16:08

扩散硅式压力变送器的传感器部分是压阻式压力传感器，它是基于半导体的压阻效应，将单晶硅膜片和电阻条采用集成电路工艺结合在一起，构成硅压阻芯片，然后将芯片封接在传感器的外壳内，连接出电极引线而制成。
当被测介质的压力作用于传感器的膜片（多为不锈钢）上时，膜片产生与扩散硅无腔压力传感器介质压力成正比的微位移，使传感器内部的电阻条阻值产生变化。传感器电路得到恒流激励后会将这一变化转换成与这一压力对应的标准测量信号（毫伏信号）。