日本日机（NIKKI）三自由度纳米平台
2013/1/22 14:44:33
日机伺服是日本第一家生产感应伺服的厂商，在伺服生产和使用方面具有丰富的专业经验。其中日机公司生产的三自由度纳米平台在国际市场得到广泛的好评。
参数表格：
平台规格 | 单位 | |||
平台外形尺寸 | Wmm X Lmm X Hmm | 788mm X 843mm X 210mm | ||
Z轴规格 | 分解能：4,300,800pp | 额定扭矩：9Nm | ||
平台重量 | kg | 161 | ||
单位 | X轴 | Y轴 | ||
有效行程 | mm | 300 | 300 | |
光栅尺分节能 | μm | 0.1 | 0.1 | |
使用直线电机类型 | —— | 无铁芯高推力型 | 无铁芯扁平型 | |
额定推力 | N | 200 | 90 | |
精度 | 单位 | X轴 | Y轴 | |
直线度A（垂直） | μm | 3.2 | 1.4 | |
直线度A（水平） | μm | 1 | 1.3 | |
重复定位精度 | μm | +/-0.1 | +/-0.1 | |
直角度（对XY轴的Y轴的角度） | μm | 1.8 | ||
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