沈阳新松机器人物料搬运研究通过国家验收

     2月26日，省科技厅传来好消息，由沈阳新松机器人自动化股份有限公司承担的“300mmIC生产线自动物料搬运系统研发与应用项目在沈阳通过了国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备与成套工艺实施管理办公室组织的验收，标志着国内首套应用于300mmIC生产线自动物料搬运系统研制成功。

　　该项目由新松公司联合中科院沈阳自动化所、上海集成电路研发中心有限公司等研究院所和企业进行技术攻关，完成了物料控制系统软件、洁净天车、天井式搬运车、洁净立库等核心设备的开发，并完成了自动物料搬运系统的示范应用，实现了洁净物料传输系统装备的国产化，项目合同期内完成了自动物料搬运生产线5条，实现销售收入1.44亿元。

　　该系统的研制成功打破了国外集成电路装备企业在国内的垄断地位，降低了晶圆制造企业生产成本，加速了我国装备制造业的转型升级。（机器人之家网）