传送如此昂贵的晶圆，你的机器人稳妥吗？

一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖传送机器人在处理站之间执行快速、精确的传送作业。

晶圆昂贵且易碎，这意味着机器人工作的稳定性和可靠性是关键考虑因素。

韩国机器人制造商Robotand Design (RND) 采用了RLS LM10系列增量式磁编码器系统来优化其晶圆传送机器人的性能。RLS是雷尼绍在斯洛文尼亚的联合公司。

晶圆

晶圆传送机器人的工作原理

硅是一种常用的半导体材料，在经过一系列上游工序后，变成了表面刻有“印刷电路”的圆形晶圆。再经过一系列下游工序，最终变成多个功能强大的微型IC单元。

现代技术已可以生产出纳米级厚度的晶圆。然而，如此薄的晶圆很容易在传送过程中损坏；且还须确保在工序中晶圆表面不得有脏污。如今，大多数制造商都在使用机器人代替人工传送晶圆，这已成为半导体制造的操作重点之一。

晶圆传送机器人

RND总经理Hyun-Gug Jung先生说：“机器人负责将晶圆传送到各个处理站的容器中，过程涉及大量的直线和旋转运动控制。”

他补充道，

拿我们的笛卡尔坐标系型机器人来说，主体安装在一个滑架上，可在晶圆容器之间高速直线移动。机器人有五个轴， R1 / R2轴，是负责控制装卸晶圆的机械臂；Z轴—控制机器人的垂直运动；T轴 — 控制机器人的旋转；X轴 — 控制机器人在容器间的直线运动。R、Z和T轴均装备伺服电机，并内置绝对式编码器，X轴配备LM10系列磁编码器，移动范围达1.5m。

反馈系统的重要性

RND的晶圆传送机器人的操作速度达到1.8 m/s。它高度依赖快速响应、极端可靠和稳定的位置反馈系统。任何微小的位置误差都可能导致晶圆破损，造成高昂的损失。

晶圆容器（黑色）

Jung先生解释道：

想象一下，机器人每天不停地高速往复移动。确保其工作的稳定性，成为开发过程中面临的挑战之一。编码器作为机器人的核心部件，重复精度始终是一项首要考虑因素。LM10系列磁编码器的重复精度可达到单位分辨率，性能多年来非常稳定，毫无疑问我们会继续使用。

RLS LM10磁编码器系统

LM10系列是设计用于恶劣环境下高速应用的磁编码器。其分辨率达到0.244 µm，分辨率为1 µm时最大速度达到7 m/s。其读数头配有LED安装指示灯且安装公差宽松。此外，LM10采用了背面自带不干胶的磁栅尺，其上配有双向参考零位。栅尺最大长度达100m，间隙为1 mm。

声誉/性价比/卓越的售后服务

雷尼绍的良好声誉是RND选择其作为业务合作伙伴的主要原因之一。

Jung先生说：

我们选择RLS，是因为我们相信它的产品质量。我们始终考虑供应商的声誉以及他们的长期发展潜力。RLS的目标是开发创新产品，致力于为客户提供定制解决方案。此外，与其他品牌相比，LM系列的性价比更高，卓越的售后服务亦免除了后顾之忧。

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