国内首套高能激光器在亦庄诞生

3月29日，从北京科益虹源光电技术有限公司传来喜讯，由该公司自主研发设计生产的首台高能准分子激光器顺利通过出厂验收。此产品“亦庄智造”以高质量、低成本的优势，填补了国内在准分子激光技术领域的空白，打破了国外厂家对该技术产品的长期市场垄断。

“您现在看到的这个大型器械就是科益虹源自主研发的准分子激光器，它主要分为三层，每一层的作用都不尽相同。”北京科益虹源光电技术有限公司生产研发中心副总经理江锐告诉记者，上层叫做高压脉冲电源（分）系统，它主要是提供激光转化所需的电子能量，这是一个高强度的电子能量，所以这是一个强电模块；中间这一块是关键的光学核心模块，它就是把高压的电能转化成高强度的光能；底下的就是关键的控制模块和一些支撑模块，包括配水、配气等等，它可以说是整台激光器的“大脑”，控制着整台激光器的运作。

科益虹源有三款主营产品，分别是光刻用193nm准分子激光器、光刻用248nm准分子激光器以及浸没式193nm准分子激光器。这家企业已经掌握了重频4kHz的193nm准分子光刻光源的核心技术，并开发出了原理性样机。此类定型光源产品主要用于90nm和65nm以下节点的光刻机，此类光刻机占据主要地位，并在更多i－Line升级领域逐渐占领更多市场。随着工业4．0的不断推进，更多工业智能领域应用的芯片将由90nm光刻机完成。248nm产品的技术基础与193nm具有较强的相关性，技术难度小，开发成本低，周期更快，在腔体设计和光学设计中只需要较小的改动，就可以快速完成产品研制，推向市场。

据了解，北京科益虹源光电技术有限公司成立于2016年7月，注册资本1．2亿元，依托股东单位中科院光电院、微电子所的技术基础，亦庄国投、国科控股的产业及资本力量，致力于打造自主创新型企业，以具有自主知识产权的准分子激光技术及产品满足国家和市场需求。科益虹源是国家02重大专项“浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设”的成果产业化载体，也是作为“三城一区”科技创新成果转化落地的一个实例。

“科益虹源作为开发区光刻机零部件技术创新中心建设的牵头单位，企业自主研发的准分子激光技术及产品成为国内高水平的专业准分子激光技术解决方案提供商，该项光刻用准分子激光系统打破了美国和日本的长期垄断地位。我们是目前国内惟一一支从事光刻准分子激光的研发团队，现已打破该技术的国际垄断局面，尤其是在国内专利布局上，目前国家在该领域里70％的专利都出自我们这个小团队。”

科益虹源总经理杨军红告诉记者，“公司投产的首台高能准分子激光器顺利通过出厂验收后，将向中国科学院在西南地区规模最大的研究所——中国科学院光电技术研究所提供服务”。

“三城”主要是要围绕着原创创新和重大关键技术创新，要为高精尖产业构建提供源头活水和技术支撑；“一区”则是对接三大科学城，让三大科学城的科技成果在这里集中转化，形成高端产业加速聚集的态势。北京经济技术开发区管委会副主任陈小男表示：“北京亦庄已经成为高精尖产业的集聚区，并且形成了集成电路，能够生产12英寸、28纳米的集成电路芯片，这在世界上属于第一梯队；在新能源汽车、奔驰发动机等核心部件的制造生产方面形成了较大产业；还有显示技术，以京东方为代表，现在分辨率已经实现4K，到2022年北京冬奥会的时候将可能出现8K的显示技术和直播节目。另外北京亦庄在医疗制药和医疗器械等方面也很有特色，产业基础、服务体系和高精尖产业的发展环境已经形成。未来三大科学城的科技成果将在这里集中转化，形成高精尖高端产业加速聚集的态势，努力打造北京亦庄，中国亦庄，世界亦庄。”