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XXY对位平台_UVW高精度对位平台__视觉对位平台

XXY对位平台_UVW高精度对位平台__视觉对位平台

XXY对位平台.jpg

高精密对位平台

凯福科技源自台湾技术团队研发的自有品牌"YARAK"高精密对位平台在高端设备上已得到广泛的推荐和使用。产品规格涵盖150mm、160mm、180mm、200mm、250mm、350mm、450mm、550mm,更大盘面尺寸我们可按要求定制。

XXY对准平台,也称为XYθ(Theta)平台或UVW对位平台,专为高精度对位设备而设计,它在XY平面中移动并围绕XY平面的中心旋转。我们提供常规的8种型号的XXY对位平台,小尺寸的重复定位精度为2μm,大规格的为3μm,这些型号的线性行程为±5 mm,大尺寸的可达±10mm。另外,XXY平台可以围绕XY平面的中心旋转到±3°,水平负载从15KG到100KG。

     XXY对位平台特点

  • 尺寸结构多样化, XXY对位平台现有空心及实心两种设计,可满足用户不同的设计需求

  • 薄型设计节省空间-采用Mini stage XYθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构

  • 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度

  • 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用

  • 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度

  • 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能

  • 高精度、高刚性、稳定性保障,实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

  • 水平或倒置安装

XXY对位平台(uvw对位平台) 、视觉对位平台广泛应用于光学测量仪器,晶圆对准,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,复合机等领域。


审核编辑(
王妍
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