成功事例 | 基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

应用场景

通过侧窗导管显示液位的情况，并对液位进行限制。

解决课题

1、按照生产要求，需要至少对四个液位位置（上限位置、供给停止位置、供给开始位置、下限位置）进行判定。

2、检测液位上下限的要求不同。

价值提案

核心产品：光纤传感器E32-A01/A02（卡管型）、光纤放大器E3NX-FA

■小型卡管式安装，快速部署四个液位位置的检测。

■考虑到断线时的安全，备有有液体状态（A01）和无液体状态（A02）下的入光两种类型。

相关产品

光纤传感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

光纤放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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