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海德汉-长度测量-敞开式直线光栅尺

海德汉-长度测量-敞开式直线光栅尺

产品简介:

HEIDENHAIN 敞开式光栅尺的扫描单元和带尺之间无机械接触。 典型的应用为:测量设备,比较器和其它线性测量的高精密装置,以及半导体工业的测量装备。

产品分类:

离散传感器 其它

品牌:

海德汉

产品介绍

·准确度等级 ± 0.5 μm 和更高
·测量步距 0.001 μm (1nm)
·测量长度 30 m
·扫描单元与带尺无摩擦
·体积小,重量轻
·移动速度高

标准的 LIP 和 LIF 光栅尺为刻在钢标尺带上的相位光栅(LIP)或刻在玻璃标尺上的相位光栅(LIP 和 LIF)。

LIDA 类型的光栅尺是在钢标尺带上刻蚀反射率较高的金条纹,称做AURODUR光栅。

LIM 为磁栅尺,采用磁扫描原理。


PP 为刻在玻璃上的两维相位光栅,采用光衍射扫描原理,与 LIP 和 LIF光栅尺的扫描原理类似。这种结构的光栅可以在平面内测量。

选择指南: 敞开式光栅尺

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