易帝 DU纳米定位平台
2009/6/18 9:55:18
产品简介:
纳米定位平台采用以色列 nanomotion 高科技陶瓷电机和交叉滚柱导轨,使用高分辨率的直线光栅尺做位移反馈,最高可达10nm分辨率,主要应用于低载荷、高精度要求应用场合;特别是其绝对稳定的定位特性,非常适合于光学、光电及半导体制造业。
产品分类:运动控制 数控系统
品牌:易帝
产品介绍
纳米定位平台采用以色列 nanomotion 高科技陶瓷电机和交叉滚柱导轨,使用高分辨率的直线光栅尺做位移反馈,最高可达10nm分辨率,主要应用于低载荷、高精度要求应用场合;特别是其绝对稳定的定位特性,非常适合于光学、光电及半导体制造业。
纳米定位平台采用模块化设计,可通过简单安装组合,应用于多轴运动要求场合。采用原点传感器可方便实现平台原点回位,机械行程限位可防止滑台脱落而损坏平台。
纳米定位平台采用模块化设计,可通过简单安装组合,应用于多轴运动要求场合。采用原点传感器可方便实现平台原点回位,机械行程限位可防止滑台脱落而损坏平台。
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