MicroStage是横河公司推出的独特的整合了直线电机、横河直接驱动电机的三轴运动平台。DYNASERV在市场取得好成绩的销售已经有10年了,伴随着DYNASERV系列直接驱动伺服的发展,LINEARSERV系列直线电机也取得了良好的发展与壮大。
MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直接驱动伺服的高速、高精度的运动控制平台。
MicroStage运动平台可以应用与各个工业的各个机械设备,特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上,这种高精度的运动控制平台已经被非常多的用户认可。
正交度:25um
平行度:+-20um(全行程)
重复定位精度:+-0.1um(全行程)
MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直接驱动伺服的高速、高精度的运动控制平台。
MicroStage运动平台可以应用与各个工业的各个机械设备,特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上,这种高精度的运动控制平台已经被非常多的用户认可。
正交度:25um
平行度:+-20um(全行程)
重复定位精度:+-0.1um(全行程)
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