RKC HA900, HA400 高速数字显示控制器[过程∕温度控制器]
RKC推出 HA900, HA400 高速数字显示控制器[过程∕温度控制器]
产品分类:仪器仪表 显示控制仪表
品牌:产品介绍
RKC推出 HA900, HA400 高速数字显示控制器[过程∕温度控制器]
实现1秒40次的超高速反馈控制! 精度±0.1%、可添加2通道控制处理、多存储功能(通过利用设定变化率限幅器、区域链接、渗透时间实现简易程序控制功能)、级联控制功能、功率前馈功能、2系统通信接口等等各种功能。 最适合用于半导体制造过程中RTP(Rapid Thermal Process:急速加热处理)操作
作为温度控制器 ( 温控器 ) , 1 秒 40 次的取样所带来的效果是方方面面的。高速取样温度控制器 HA 系列,以 0.025 秒的高速取样实现了至今为止被认为不可能的高速控制系统。
半导体制造装置
使用了石英加热器等的高速升温控制
量 ( 电流 / 电压输入规格 ) 控制
特 点
☆ 高速取样0.025秒 ☆ 串联控制
☆ 实现2通道控制 ☆ 功率前馈功能
☆ 捕捉细微的输入变化的高分辨率 ☆ 通信功能
☆ 简易程序控制功能
为了最大限度的活用高速取样温度控制器 HA 系列 (HA900 、 HA400) 的性能,请您选用高速响应高精度的 输入热电偶、铂金测温电阻等感应器。
并请您也选用高速响应的操作装置(固态继电器: SSR ,可控硅控制单元: SCR 等)以及热源(控制温度时:加热器等)。
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