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博瑞 SWI-280LM 精密直驱平台

博瑞 SWI-280LM 精密直驱平台

产品简介:

■ 模块化结构设计,灵活的搭建方式■ 连续推力57.4N-681.6N■ 极佳的平滑运动,极小的动态跟随误差■ 极佳的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性

产品分类:

运动控制 运动机械部件

品牌:

博瑞

产品介绍


SWI-280LM 高性能直驱平台

特点:

■Travel :200mm,300mm,400mm,500mm,600mm

■定位精度高达(直线误差修正后):±1µm(Travel≤200mm)

■拥有极佳线性表现的光栅反馈系统,分辨率最高可达1.2nm

■标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案

■整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,低成本,高性能

Design Details:

基础材料

进口7075铝合金,有限元分析优化,一体化加工成型

直线轴承

精密研磨加工,4方向等负荷,超精密级进口直线导轨

驱动系统

进口无铁芯直线电机,带霍尔传感器&温度控制

电机换向

通过霍尔传感器or编码器反馈进行换向(由控制器)

反馈

开放式高精度直线玻璃光栅尺,20µm栅距,分辨率从0.1µm~1.2nm

Home Switch

光学零位,位于光栅尺基础轨道,平台一侧或者指定任意位置

Limit Switches

光学

Cable

标准1000mm,2000mm,3000mm,亦可根据需求进行定制

控制方案

推荐使用 UMAC+Parker C3驱动器

Specifications:

Model

SWI 280LM-0200

SWI 280LM-0300

SWI 280LM-0400

SWI 280LM-0500

SWI 280LM-0600

行程

Travel

200(mm)

300(mm)

400(mm)

500(mm)

600(mm)

定位精度

Accuracy (1)

Standard

±5.5µm

±7µm

±8.5µm

±10µm

±12µm

Facter

±1.5µm

±2µm

±2µm

±2.5µm

±2.5µm

分辨率

Resolution (5)

50nm

双向重复定位精度

Bi-Directional
Repeatability (1)

±0.25µm

直线度

Straightness (1)

±4µm

±5µm

±6.5µm

±7.5µm

±8µm

平面度

Flatness (1)

±4µm

±5µm

±6.5µm

±7.5µm

±8µm

俯仰角误差

Pitch(2)

8 arc sec

10 arc sec

13 arc sec

15.5 arc sec

18 arc sec

横滚角误差

Roll

8 arc sec

10 arc sec

13 arc sec

15.5 arc sec

18 arc sec

偏航角误差

Yaw(2)

11 arc sec

13 arc sec

16 arc sec

19.5 arc sec

22.5 arc sec

最大速度

Maximum Speed(4)

2m/s

最大加速度

Maximum Acceleration

3g

最大连续推力

Maximum Force
(Continuous)(3)

340.8N

负载能力

Load
Capacity(3)

Horizontal

150kg

Side

150kg

运动台质量

Moving Mass

12kg

平台质量

Stage Mass

55kg

55kg

60kg

65kg

72kg

材料

Material

Aluminum,7075

注1:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用激光干涉仪测量的精度误差;

注2:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用高精度光电自准直仪测量的精度误差;

注3:最大连续推力是建立在线圈绕组温度保持在100℃且平台水平放置使用的基础上;

注4:最大工作速度取决于客户端的控制器、驱动器与光栅分辨率的匹配;

注5:分辨率指光栅反馈系统的最高分辨率(标准配置),亦指平台最小微位移量;

注6:平台采取壁挂、倒置姿势使用时,特性会发生相应变化,请提前向工程师咨询;

注7:多轴组合使用因涉及精密轴系装配工艺,请提前向工程师咨询;

注8:多轴、非标准应用或定制服务,请向工程师咨询;


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