产品选型

当前页面: 首页 >产品选型 >Teledyne DALSA 晶圆检测视觉方案

Teledyne DALSA 晶圆检测视觉方案

供稿:凌云光技术集团有限责任公司 2018/6/21 15:13:09

星级:0 人气:18

    关键字: 晶圆检测方案
    产品分类: 机器视觉 其它
    品牌: Teledyne DALSA
    产品简介:
    高效准确的检测设备,是提供高可靠性晶圆材料的保证。相较于传统人工检测而言,机器视觉检测具有精度高、效率高、可连续性以及非接触式避免污染等优势。

    晶圆检测方案

    晶圆是制作IC最基础的半导体材料,晶圆的质量将直接决定IC成品的质量好坏。由于工艺水平不同,晶圆可能会在生产阶段产生冗余物、晶体缺陷和机械损伤三种缺陷。因此,高效准确的检测设备,是提供高可靠性晶圆材料的保证。相较于传统人工检测而言,机器视觉检测具有精度高、效率高、可连续性以及非接触式避免污染等优势。

    视觉系统原理

     

    视觉检测原理

    随着集成电路的关键尺寸变得越来越小,缺陷的尺寸也相应有所缩小。同时,大规模晶圆生产对于检测速度有着较高要求。凌云视觉方案重点推荐大靶面高速线扫描相机,搭配大靶面专用放大倍率镜头。为了突出晶圆表面细微的瑕疵,还需要搭配高亮度同轴线扫描光源。

    视觉方案及产品



    Teledyne DALSA线扫描相机

    ES-S0-12K40-00-R

    12K分辨率大靶面

    90kHz行频



    PX-HM-16k12X-00-R

    16K超高分辨率

    最高可达125kHz行频


    Schneider大靶面检测专用镜头

    V型卡口,设计灵活。能与多款高分辨率线阵相机配合使用

    高分辨率

    经过色差修正设计

    F数4.0,焦距60mm


    高量同轴线扫光源


    相关应用



    基板玻璃检测

    液晶玻璃检测

    太阳能光伏检测


    更多内容请访问 凌云光技术集团有限责任公司(http://c.gongkong.com/?cid=33515)

    手机扫描二维码分享本页

    工控宝APP下载安装

    工控速派APP下载安装

     

    我来评价

    1. 我要试用产品
    2. 我要产品资料
    3. 我要技术支持
    4. 我要咨询采购
    性能:
    给性能打分
    质量:
    给质量打分
    易用:
    给易用打分
    服务:
    给服务打分