Setra730高精度真空计

Setra 730是一款高精度电容式真空计（亦称电容薄膜式压力计 (CDG)），适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控 制至关重要的低真空压力范围。730使用全Inconel®接液材料， 可耐受腐蚀性工艺介质。完全符合RoHS规范的高频电子设计， 具备极低噪声的同时保持快速响应时间，满足当今关键控制应 用需求。相比于竞品型号，其外部噪声抑制、快速预热、不受 环境影响及长期稳定性等特点更为突出。

730的所有接液部件均采用Inconel®材料，因此对半导体及工业 真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。该材料结合全焊 接结构，保证了730在苛刻应用中的长期使用寿命。

与其他真空测量技术不同，730电容式真空计直接测量压力， 即单位面积上的力的变化。其0-5或0-10 VDC模拟输出信号正比 于所测量的压力，不受工艺气体成分的影响。