三丰 白光干涉光学单元 WLI-Unit
2025/7/15 16:50:34
产品简介：
精准定位和多轴控制，耐环境，用户NC机床定位、半导体制造设备定位等。
产品分类：机器视觉 其它
品牌：产品介绍
白光干涉光学单元 WLI-Unit
可使用白光干涉进行非接触式高精度细微表面性状测量，例如，3D形状测量、3D粗糙度测量
产品特点与优势
● 实现非接触式3D表面形状测量和轮廓测量
可利用白光干涉原理实现非接触式高精度细微表面性状测量
（例如：3D形状测量、3D粗糙度测量）
● 不依赖于光学倍率的高度测量精度
即使是低倍率镜头，也可使用Z向高分辨力进行测量
● 高纵横比测量
不依赖于光学系统的NA进行检测，支持高纵横比形状测量
● 抗干扰震动的高稳定性
● 小型轻便
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