- 型号:FURNAS ELECTRIC CO 52RB3D3
- 数量:10
- 制造商: 厦门兴锐达自动化设备有限公司
- 有效期:2019/2/1 0:00:00
FURNAS ELECTRIC CO 52RB3D3 在线测厚仪采用德国进口的激光位移传感器,将激光束作为机械探针,利用电荷耦合器件来实现光电转换。它将激光光源、光电检测和计算机工业控制技术相结合,广泛用于工业生产,能在生产线上对各种材料的厚度、宽度、轮廓进行实时测量。
FURNAS ELECTRIC CO 52RB3D3 其主要特点有:
◆ 激光测厚仪ZTMS08测厚量程量身定制,最高精度0.5um;
◆ 高速在线测量,最高测量值/秒;
◆ FURNAS ELECTRIC CO 52RB3D3 多点测量,一台工控机可连接多个在线测厚仪;
◆ 可连接生产线自动控制系统,实现闭环控制;
◆ FURNAS ELECTRIC CO 52RB3D3 可连接公司 内部管理网络,如企业资源计划ERP;目标
1 能够精确地调整和保持半导体晶片在进行物理气相沉淀(PVD)室中整齐排列。
2 避免在进入沉淀室时,由于排列不整齐而造成晶片损坏。
3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。
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