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BizShaker Foresight 故障预警方案

BizShaker Foresight 故障预警方案

       BizShaker Foresight真空帮浦系统专家管理系统旨在协助 IC / 太阳能 / LCD / LED 晶圆厂,更易于管理并预防性维护操作其真空帮浦系统。真空帮浦系统通常由一个进气管连接设备与干式真空帮浦,并以排气管连接干式真空帮浦与净气器。BizShaker Foresight藉由设于干式真空泵帮浦的控制标签进行监控,以提供干式帮浦的实际故障前预报警信息。下面显示的是一个典型的干式真空帮浦系统配置图:

可监视干式真空帮浦内的项目 :
1、增压电流
2、增压温度
3、氮气压力
4、运作时间
5、机体温度
6、氮气流量
7、排气压力
8、干式真空帮浦的电耗
9、振动振幅与频率
10、通讯状态
BizShaker Foresight 主要功能:
主要功能与特点 :
1、监测并控制干式帮浦内的各项实时状态 (可控件目随不同的干式帮浦系统型号而有不同)
2、分析干式真空帮浦内的数值并根据专家系统生成预报警信息
3、可支持振动传感器
4、在同一监测控制网络下, 可支持多个不同厂商的干式帮浦系统
5、实时显示干式真空帮浦监测控制图
6、条列干式真空帮浦监测与控制报警窗体
7、清楚纪录干式真空泵状态
8、明确显示干式泵预报警信息
9、提供预防性维护警告消息
10、易于设定与控制干式真空帮浦卷标 (可控件目随不同的干式帮浦系统型号而有不同)
11、提供协助决策的趋势图
12、提供明确的情况报告
13、可伸缩的分布式体系结构
预报警消息 :
1、轴承损坏
2、排气管堵塞
3、转子和外壳间的磨损
4、转子间的淤塞
BizShaker Foresight 系统架构
       BizShaker Foresight是一个以网页接口为主, 监测干式真空帮浦的管理控制系统。下面显示的是系统配置图:


       BizShake Foresight具有监视控制图生成器。用户可以使用这个生成器来构建一个监测和控制干式真空帮浦的图形接口。监测控制图生成器显示于下:


       用户可以使用监测控制接口来显示干式真空帮浦是否正确运作。图示的颜色会因干式帮浦的当前状态而改变颜色。黄色表示警告状态,红色表示报警状态。下面显示下面是一个监控图:


每个控制卷标的状态显示在下面的屏幕:


       BizShaker Foresight可在纪录档案里持续追踪所有干式帮浦内控制标签的所有事件。用户可以选择一个控制标签,查看所有事件的历史。趋势图也提供了一个历史事件的图形视图。


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