MSST10-Q在扩散炉\PECVD上的应用
2013/1/18 18:40:50
应用设备:DS-300A型管式高温扩散炉。
设备功能介绍:
本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺,通过扩散所形成的PN结,就是晶体硅太阳能电池的核心。
应用产品型号:
MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04
产品应用介绍:
热扩散炉用2个MSST10-Q-RN、2个23HS3002-29;
(PECVD用1个STM23S-3RE、1个MSST10-Q-RN、1个23HS3811-04)
步进电机用于驱动图中四个黑框里的模块上下、前后移动,一个电机装在模块上,通过变速箱 丝杠带动模块做上下运动,一个电机通过皮带 滚珠丝杠带动模块水平运动。
设备中共有四个工控机,每个工控机控制两个驱动器(一个模块)。
目的是送料进入炉中,或从炉中取料出来。
应用环境参数:
负载:同步带负载,长度3米。
上位机:研祥工控机,
控制模式:主机控制模式,SCL语言编程,客户自己编写程序;RS485通讯,两轴控制,无需插补运动;正反转限位提供机械保护;
电源:24V开关电源;
细分:20000 step/rev;
速度:300rpm;
动作,低速往复运动,运行10分钟,静止1小时。
客户选用的原因:
主机编程控制,实现全数字化控制,抗干扰能力强。
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