欧姆龙成功事例 | 半导体等离子清洗机的引线框架突出检测应用

应用介绍

【行业】半导体

【设备】清洗机/AMHS

应用场景

引线框架的浮起检测，防止引线框架无法送入轨道内。

解决课题

1、引线框架本身较薄，极易弯曲，存在引线框架翘曲造成输送轨道堵塞的风险，即使是微小的弯曲浮起也需要稳定的检测。

2、传感器安装较远，且引线框架弯曲的方向比较随机，无法完全保证传感器受光部接收的光路不被遮挡。

价值提案

核心产品：智能激光传感器 E3NC

■E3NC拥有1级激光光源，可通过精密光学系统控制光斑直径≤2mm，有效覆盖引线框架微米级变形区域，确保引线框架弯曲浮起的稳定检测。

■E3NC采用同轴型检测头，消除因框架表面弯曲引发的反射光路径偏移，避免检测时的干扰。

■E3NC备有网络型放大器，方便导入并监控传感器实时状态，并进行批量快速的传感器设置。

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