轮胎压力传感器敏感元件的设计与研制
2009/7/31 12:25:00
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美国的NHTSA已出台的TREAD法规引起新一轮汽车压力传感器应用高潮和TPMS产品的开发热潮。为了该产品的国产品种开发设计，我们研制出了一种轮胎压力传感器芯片，它是采用基于MEMS技术的硅体微机械加工技术制造的，采用硅—硅真空键合大大缩小单元尺寸，有利于降低成本。已
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