欧姆龙成功事例 | EFEM多材质晶圆的凸出检测方案
2025/6/26 21:56:13
应用介绍
【行业】SEMI
【设备】EFEM
【用途】用于半导体前道各种工艺机台的晶圆传输
使用场景
检测cassette内wafer是否有凸出，防止自动取片时发生异常。
场景：cassette内wafer的突出检查
解决课题
应对不同材质wafer的检测需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。
价值提案
核心产品：光纤传感器 E32/E3NX-FA
配备自动调谐、以及APC&DPC自动投光&受光校正，方便快速对应各种透明度的wafer。
相关产品
光纤传感器E32系列
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/
智能光纤放大器E3NX-FA
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/
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李娜
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