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欧姆龙成功事例 | 对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案

欧姆龙成功事例 | 对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

 

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应用场景

对储液罐(tank)的液位进行检查。

 

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解决课题

部分有机溶液(氢氟酸)具有腐蚀性,无法使用透明玻璃管显示液位。


价值提案

核心产品:光纤传感器E32-D82F1(接液型)、光纤放大器E3NX-FA

接液型光纤传感器可部署于储液罐(tank)内直接接触液体测量

200℃的耐热性并有氟树脂涂层,耐化学性强,满足清洗槽温度和腐蚀要求,实现对有机溶液的液位检测

 

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相关产品

光纤传感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

 

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光纤放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

 

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若您对本产品感兴趣,欢迎扫码留下您的联系方式,欧姆龙工程师将尽快与您联络!

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李娜
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