博瑞 SWI-165LM 精密直驱平台_博瑞_SWI-165LM

博瑞 SWI-165LM 精密直驱平台

2015/12/24 16:52:39

产品简介：

￭模块化结构设计，最大600mm Travel￭连续推力57.4N-681.6N￭极佳的平滑运动，经算法优化可以获得极小的动态跟随误差￭极佳的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性

产品分类：

运动控制机械传动滑轨运动机械部件

品牌：

博瑞

产品介绍

SWI-165LM 精密直驱平台

特点：

￭Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm

￭定位精度高达（直线误差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）

￭拥有极佳线性表现的光栅反馈系统，分辨率最高可达1.2nm

￭标准的模块化设计，灵活的单轴/多轴解决方案

￭整体密封结构，轻量化、高刚性结构设计，低成本，高性能

Design Details

基础材料	进口7075铝合金，有限元分析优化，一体化加工成型
直线轴承	精密研磨加工，4方向等负荷，超精密级进口直线导轨
驱动系统	进口无铁芯直线电机，带霍尔传感器&温度控制
电机换向	通过霍尔传感器or编码器反馈进行换向（由控制器）
反馈	开放式高精度直线玻璃光栅尺，20µm栅距，分辨率从0.1µm~1.2nm
Home Switch	光学零位，位于光栅尺基础轨道，平台一侧或者指定任意位置
Limit Switches	光学
Cable	标准1000mm,2000mm,3000mm，亦可根据需求进行定制
控制方案	推荐使用 UMAC+Parker C3驱动器

Specifications

Model			SWI 165LM-0100	SWI 165LM-0150	SWI 165LM-0200	SWI 165LM-0300
行程	Travel		100(mm)	150(mm)	200(mm)	300(mm)
定位精度	Accuracy (1)	Standard	±4µm	±4.5µm	±5.5µm	±7µm
		Facter	±1.5µm	±1.5µm	±1.5µm	±2µm
分辨率	Resolution (5)		50nm
双向重复定位精度	Bi-Directional Repeatability (1)		±0.25µm
直线度	Straightness (1)		±2.5µm	±3µm	±4.5µm	±6µm
平面度	Flatness (1)		±2.5µm	±3µm	±4.5µm	±6µm
俯仰角误差	Pitch（2）		6 arc sec	7 arc sec	9 arc sec	12 arc sec
横滚角误差	Roll		6 arc sec	7 arc sec	9 arc sec	12 arc sec
偏航角误差	Yaw（2）		8 arc sec	8 arc sec	12 arc sec	16 arc sec
最大速度	Maximum Speed（4）		2m/s
最大加速度	Maximum Acceleration		3g
最大连续推力	Maximum Force (Continuous)（3）		57.4N
负载能力	Load Capacity (3)	Horizontal	45kg
		Side	45kg
运动台质量	Moving Mass		2.5kg
平台质量	Stage Mass		10kg	11kg	12kg	14kg
材料	Material		Aluminum,7075

Model			SWI 165LM-0400	SWI 165LM-0500	SWI 165LM-0600
行程	Travel		400(mm)	500(mm)	600(mm)
定位精度	Accuracy (1)	Standard	±8.5µm	±10µm	±12µm
		Facter	±2µm	±2.5µm	±2.5µm
分辨率	Resolution (5)		50nm
双向重复定位精度	Bi-Directional Repeatability (1)		±0.25µm
直线度	Straightness (1)		±8µm	±9µm	±10µm
平面度	Flatness (1)		±8µm	±9µm	±10µm
俯仰角误差	Pitch（2）		16 arc sec	19 arc sec	22 arc sec
横滚角误差	Roll		16 arc sec	19 arc sec	22 arc sec
偏航角误差	Yaw（2）		20 arc sec	24 arc sec	28 arc sec
最大速度	Maximum Speed（4）		2m/s
最大加速度	Maximum Acceleration		3g
最大连续推力	Maximum Force (Continuous)（3）		57.4N
负载能力	Load Capacity (3)	Horizontal	45kg
		Side	45kg
运动台质量	Moving Mass		2.5kg
平台质量	Stage Mass		16kg	18kg	20kg
材料	Material		Aluminum,7075

注1：在环境温度20℃，平台水平放置使用的情况下，使用激光干涉仪测量的精度误差；
注2：在环境温度20℃，平台水平放置使用的情况下，使用高精度光电自准直仪测量的精度误差;
注3：最大连续推力是建立在线圈绕组温度保持在100℃且平台水平放置使用的基础上；
注4：最大工作速度取决于客户端的控制器、驱动器与光栅分辨率的匹配；
注5：分辨率指光栅反馈系统的最高分辨率（标准配置），亦指平台最小微位移量；
注6：平台采取壁挂、倒置姿势使用时，特性会发生相应变化，请提前向工程师咨询；
注7：多轴组合使用因涉及精密轴系装配工艺，请提前向工程师咨询；
注8：多轴、非标准应用或定制服务，请向工程师咨询；