TELEDYNE DALSA MEMS应用－微镜_Teledyne_DALSA

TELEDYNE DALSA MEMS应用－微镜

2013/7/4 17:07:49

MEMS应用

从手机的RF芯片，通讯光交叉连接到游戏控制器的陀螺仪，汽车压力传感器和用于汽车的惯性传感器到小型化的医疗系统用的微流体器件，Teledyne DALSA都已经量产，并且为这些创新的MEMS应用提高性能的同时降低尺寸和功耗。联系我们，讨论MEMS制造的挑战 Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.

MEMS应用：压力传感器　　运动传感器　　BioMEMS　　微镜　　硅通孔　　射频MEMS

微镜

>>光学MEMS，应用于电信或者其他更多领域

微镜制造

在制造高性能的静电微镜方面，Teledyne DALSA拥有无与伦比的经验。微镜器件已经广泛应用于电信系统中的VOA或WSS功能，以及在微型投影仪的激光束转向应用。微镜的制造中的关键技术，包括SOI设备层转移和体微机械加工，其中为确保一致的镜偏转，极其严密的单晶硅层控制是必要的，当然，高品质的镜面金属沉积也是关键。此外因为反射镜面上单独一颗粒子的存在就可降低微镜的光学品质，污染来源也是被严格控制的。我们已经开发了电子光学测试程序，确保每片晶圆（或者每个器件，如果需要）符合产品规格。

微镜驱动

我们参与制造的微镜阵列的经验是我们认识到，市场上没有现成的微镜阵列驱动和控制的解决方案可以满足现有不同产品和应用的需求，所以我们自己设计了使用Teledyne DALSA高压CMOS技术生产的驱动和控制ASIC。它们是240V, 96 通道的 DH9685 (数字)和 DH9665 (模拟)。我们的工程师团队也可以为客户设计完全订制的高压ASIC驱动和控制电路，来满足客户在微镜和其他MEMS应用的需求。

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