TELEDYNE DALSA MEMS应用－运动传感器

• 关键词：TELEDYNE,DALSA,MEMS,运动传感器
• 摘要：Teledyne DALSA通用的惯性传感器平台是我们的MEMS工具箱中的一个子集，是为加速度计，陀螺仪和惯性测量单元（IMU）配备的。

MEMS应用

从手机的RF芯片，通讯光交叉连接到游戏控制器的陀螺仪，汽车压力传感器和用于汽车的惯性传感器到小型化的医疗系统用的微流体器件，Teledyne DALSA都已经量产，并且为这些创新的MEMS应用提高性能的同时降低尺寸和功耗。联系我们，讨论MEMS制造的挑战 Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.

MEMS应用： 压力传感器　　运动传感器　　BioMEMS　　微镜　　硅通孔　　射频MEMS

运动传感器

>>动作感应速度计，陀螺仪

加速度计，陀螺仪和惯性测量单元

近年来，MEMS运动传感器已被广泛应用在手持设备和汽车里，这种趋势将进一步加快和多样化，因为设计和制造商已经发现这些器件的潜力。

Teledyne DALSA通用的惯性传感器平台是我们的MEMS工具箱中的一个子集，是为加速度计，陀螺仪和惯性测量单元（IMU）配备的。这其中关键的制程模组包括 深反应离子刻蚀（DRIE）, 聚合物硅通孔（poly thru-silicon vias）, 和晶园键合 –包括为实现高Q值陀螺仪的真空下晶园键合。我们 特有的研磨和CMP技术使得我们不再需要昂贵的SOI晶园。我们的制程是为完全的晶园级封装设计的，可以实现晶园级ASIC和MEMS硅片封装，通过铜填充的硅穿孔（TSV）连接外部I/O接口。