米铱公司电容式传感器步入纳米级测量领域

纳米（毫微米量级），作为位移传感器领域富有挑战性的任务已经在米铱(MICRO--EPSILON)公司实现，它就是非接触电容位移传感器capaNCDT。其主要特点为： 高的零点稳定性和精度；几乎与温度无关，如其中capaNCDT620精密电容式位移传感器:最高分辨率2纳米;线性度0.2%;传感器使用温度范围-50--+200℃;长期稳定性 0.02%/月。 与被测体导电性能，以及导电性能变化无关，在测量导电材料时，不须另外线性化工作，导电性能的差异不会影响灵敏度和线性，给现场测量带来极大方便。 capaNCDT也可测量绝缘材料的位移。线性化须专门进行，材料相同的介电常数是精确测量的条件。 由于以上特点电容位移传感器capaNCDT可以测量纳米级要求的金属箔、绝缘材料簿膜的厚度，以及金属、非金属另件尺寸精密检验。为此，米铱公司用电容位移传感器capaNCDT向市场成功推出了多种成套检测设备，如thicknessCONTROL非接触厚度测量系统、foilCONTRON在线薄膜厚度测量系统、dimemsionCONTROL轴瓦厚度和轮廓检测系统。