台塑集团将发展三氟化氮生产_台塑集团将发展三氟化氮生产化工_

台塑集团将发展三氟化氮生产

2004/7/15 17:38:00

台湾地区台塑集团近日宣布斥资数十亿元新台币（33.7元新台币合1美元），兴建半导体和面板产业特用气体三氟化氮厂。根据计划，该厂9月份投产，初期年产量为200吨，明年底把年产能扩大至400吨，2006年增至800吨。三氟化氮是半导体和液晶面板制程普遍使用的清洁气体，过去台湾全部靠进口。保守估计，台湾今年需要三氟化氮600吨，2006年将倍增至1300吨。不久前，日本中央硝子公司和关东电化公司宣布将在台湾兴建三氟化氮厂。　　(摘自：中国化工网)